冷场发射扫描电镜的创新之处在哪里

创新点：

1、支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EMFlow Creator"，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。

2、增加获取信息的种类与数量通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。此外，为一次性获取大量信息，像素扩展到了40,960 x30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。 

3、增强信号检测能力，SU8600开发了多个新型选配检测器，加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外，还提高了背散射电子信号检测的响应速度。